پمپ خلاء توربومولکولی مغناطیسی با لرزش کم CXF-320/3000E

پمپ Maglev، CXF-320/3000E، خنک کننده واتر، ISO-F، کنترل کننده خارجی

پمپ‌های مولکولی معلق مغناطیسی، پمپ‌هایی هستند که شفت‌گیری آن‌ها به واسطه نیروی مغناطیسی پشتیبانی می‌شود.

سری پمپ های مولکولی معلق مغناطیسی، تجهیزات تولید خلاء هستند که توسط KYKY برای برآوردن نیازهای کاربردی در زمینه های تولید نیمه هادی های مدرن، تولید تراشه، آبکاری صنعتی و ابزار علمی توسعه یافته اند.

یاتاقان های الکترومغناطیسی را "خرس های معلق مغناطیسی فعال" نیز می نامند که از یک یاتاقان مغناطیسی، یک سنسور و یک سیستم کنترل تشکیل شده است.این طراحی دارای پاسخ پویا و تنظیم به موقع، شفت با سرعت بالا و عملکرد قابل اعتماد است.

مزایا:

1. صفر اصطکاک در حین کار و مصرف برق کم

2. به راحتی می توان خلاء بسیار تمیز و خلاء فوق العاده بالا را بدون روغن کاری برای پمپ ها بدست آورد

3. قابلیت استخراج گازهای خورنده برای طولانی مدت

4. ایمنی بالا و عمر طولانی به دلیل محافظت از یاتاقان ها با توپ های سرامیکی دقیق

5. عملکرد تولید برق در صورت قطع ناگهانی برق

6. بدون اصطکاک

7. عاری از آلودگی

8. بدون تعمیر و نگهداری

9. لرزش کم

10. نصب در هر جهت.

فن آوری ها:

• فناوری کنترل برای بلبرینگ مغناطیسی: 5 محوره به صورت مغناطیسی معلق می شود.این طرح می تواند پاسخ دینامیکی و تنظیم به موقع را با استفاده از فناوری کنترل سیستم تعلیق مغناطیسی مدار بسته فعال پویا مبتنی بر تئوری کنترل بین المللی پیشرفته داشته باشد، به طوری که مزایای قابل توجهی از شفت با سرعت بالا مانند عملیات معلق پایدار و قابل اطمینان را تضمین کند.
• فناوری کنترل محرک موتور: موتور پرسرعت DC و سیستم کنترل سروو با راندمان بالا برای پمپ‌های معلق مغناطیسی سری اعمال می‌شود، بنابراین برای داشتن حداکثر انرژی موتور و جبران سرعت چرخش شفت به طور خودکار، در نتیجه راه‌اندازی پایدار، عملکرد قابل اعتماد و تنظیم خودکار ایجاد می‌شود. تابع انرژی دینامیکی
• تکنولوژی روتور کامپوزیت فیبر کربن: روتورهای توربو پمپ های مولکولی تعلیق مغناطیسی سریال از ترکیب آلیاژ آلومینیوم با استحکام بالا و فیبر کربن سبک ساخته می شوند.در مقایسه با تمام روتورهای آلیاژ آلومینیوم، روتورهای توربو از کاهش وزن و بهبود زیاد استحکام مشخص می‌شوند، به طوری که اهداف سرعت چرخش بالا، عملکرد بالا و قابلیت اطمینان بالا به دست می‌آیند.
• تکنولوژی مقاوم در برابر خوردگی: سطوح قطعات در محفظه های پمپ های مولکولی تعلیق مغناطیسی سریال با فرآیند خاصی پردازش می شوند، به طوری که سطوح می توانند برای مدت طولانی در برابر خوردگی ناشی از گازهای خورنده در فرآیندهای ساخت نیمه هادی مقاومت کنند.علاوه بر این، گازهای بی اثر مانند N2 به طور کامل در شفت پمپ ها پر می شوند تا از قطعات خلاء کم در پمپ ها محافظت کنند، به طوری که عملکرد گازهای خورنده پایدار برای مدت طولانی محقق می شود.
• سیستم کنترل دمای گرمایش: سری پمپ های مولکولی شناور مغناطیسی مجهز به یک بخاری برقی و یک کنترل کننده دما هستند، به طوری که آب خنک کننده، گرمایش هوا- استخوان، گرمایش الکتریکی و گرمای حمل شده توسط گازهای محافظ را می توان در حین کار نظارت و کنترل کرد، دمای پمپ ها را می توان در دمای پایین نگه داشت. مقداری ارزش برای درازمدت، برخی از مواد گازی در دمای معمولی به مواد جامد تبدیل نمی‌شوند و در پمپ‌ها رسوب نمی‌کنند و الزامات فرآیند خاصی مانند اچینگ را می‌توان برآورده کرد.

مشخصات فنی:

برنامه های کاربردی:

سری پمپ های مولکولی معلق مغناطیسی عمدتاً در زمینه های تولید نیمه هادی ها، ساخت گیره، آبکاری صنعتی و ابزارهای علمی، به ویژه برای استخراج گازهای خورنده موجود در اچ، CVD، PVD و کاشت یون و گازهایی که به راحتی در دمای معمولی منعقد می شوند، استفاده می شود.