وضوح: | 4.5 نانومتر@30KV (SE) | بزرگنمایی: | بزرگنمایی منفی: 15X~250000X بزرگنمایی صفحه:30X~500000X |
---|---|---|---|
ولتاژ شتاب دهنده: | 0 تا 30 کیلو ولت | حداکثر قطر نمونه: | 150 میلی متر |
برجسته: | ابزار دقیق میکروسکوپ الکترونی روبشی,دستگاه سم |
SEM، EM6200 Eco، رشته تنگستن، رزولوشن 4.5nm@30KV(SE)
نسخه ارتقا یافته EM3200 که پرفروش ترین حالت در لیست میکروسکوپ الکترونی اسکن KYKY است، از سال 2014 هر سال بیش از 20 فروش داشته است و مقرون به صرفه ترین SEM کف نصب شده است که می توانید در بازار تهیه کنید.سیستم عملیات چند زبانه، پانل کنترل یکپارچه، مشتری می تواند کل واحد را به سادگی با ماوس و صفحه کلید کنترل کند، برنامه خدمات پس از فروش جامع با پشتیبانی فنی مادام العمر.با بیش از 60 سال تجربه KYKY در تولید SEM، کل سری EM از سیستم قدیمی بازسازی شده و سفارشی شده به عنوان SEM+ پشتیبانی می کند، مانند بازسازی لیتوگرافی پرتو الکترونی، ارتقاء LaB6، ادغام شده با STM، AFM، مرحله گرمایش، مرحله کریو، مرحله کششی، میکرو سیستم دستکاری کننده نانو و غیره نیز دارای رابط چندگانه در محفظه برای اتصال بیشتر آشکارساز آنالیز موجود در بازار است.
مزایای:
◆ SEM مقرون به صرفه
◆ پنل عملیات انگلیسی،
◆ مجموعه کامل نرم افزار خودکار
◆ سرویس اصلاح در دسترس است
◆ پرفروش ترین SEM
مشخصات فنی:
مورد | SEM رشته تنگستن اکو EM6200 | |
وضوح | 4.5nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | |
بزرگنمایی | بزرگنمایی منفی: 15X~250000X بزرگنمایی صفحه:30X~500000X | |
تفنگ الکترونی | کارتریج فیلامنت تنگستن با کاتد گرم شده-پیش مرکزی | |
ولتاژ شتاب دهنده | 0 تا 30 کیلو ولت | |
سیستم لنز | لنز الکترومغناطیسی سه سطحی (عدسی مخروطی) | |
دیافراگم شیئی | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم سیستم خلاء بیرونی | |
مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
مسافرت رفتن | X (خودکار) | 0 تا 50 میلی متر |
دامنه | Y (خودکار) | 0 تا 50 میلی متر |
Z (دستی) | 0 تا 25 میلی متر | |
R (دستی) | 360 درجه | |
T (راهنما) | -5 تا 90 درجه | |
حداکثر قطر نمونه | 150 میلی متر | |
آشکارساز |
آشکارساز الکترون ثانویه خلاء بالا (با محافظ آشکارساز) | |
تغییر | ارتقاء مرحله؛ EBL؛ STM؛ AFM؛ مرحله گرمایش؛ مرحله کریو؛ مرحله کششی؛ دستکاری میکرو نانو؛ SEM + دستگاه پوشش؛ SEM + لیزر | |
تجهیزات جانبی | CCD، LaB6، آشکارساز اشعه ایکس (EDS)، EBSD، CL، WDS، دستگاه پوشش | |
سیستم خلاء | پمپ های مولکولی توربو؛ پمپ چرخشی | |
کامپیوتر | ایستگاه کاری دل سفارشی |
تماس با شخص: sales
تلفن: +8613810212935