جزئیات محصول:
پرداخت:
|
فلنج: | ISO-K/CF DN200 | خنک کننده: | اب |
---|---|---|---|
روغن کاری: | مگلو | سرعت پمپاژ: | 1400 لیتر در ثانیه N2 |
برجسته: | پمپ های مولکولی توربو,پمپ خلاء توربومولکولی |
پمپ Maglev، CXF-200/1400، آب خنک کننده، ISO-K/CF، کنترل کننده خارجی
پمپهای مولکولی معلق مغناطیسی، پمپهایی هستند که شفتگیری آنها به واسطه نیروی مغناطیسی پشتیبانی میشود.
سری پمپ های مولکولی معلق مغناطیسی، تجهیزات تولید خلاء هستند که توسط KYKY برای برآوردن نیازهای کاربردی در زمینه های تولید نیمه هادی های مدرن، تولید تراشه، آبکاری صنعتی و ابزار علمی توسعه یافته اند.
فن آوری ها:
مزایا:
1. صفر اصطکاک در حین کار و مصرف برق کم
2. به راحتی می توان خلاء بسیار تمیز و خلاء فوق العاده بالا را بدون روغن کاری برای پمپ ها بدست آورد
3. قابلیت استخراج گازهای خورنده برای طولانی مدت
4. ایمنی بالا و عمر طولانی به دلیل محافظت از یاتاقان ها با توپ های سرامیکی دقیق
5. عملکرد تولید برق در صورت قطع ناگهانی برق
6. بدون اصطکاک
7. عاری از آلودگی
8. بدون تعمیر و نگهداری
9. لرزش کم
10. نصب در هر جهت.
برنامه های کاربردی:
استخراج گازهای خورنده موجود در اچ، CVD، PVD و کاشت یون و گازهایی که به راحتی در دمای معمولی منعقد می شوند در زمینه های تولید نیمه هادی، ساخت گیره، آبکاری صنعتی و ابزار علمی، .
مشخصات فنی:
فلنج (در) | DN200 CF/ISO-K، ISO-F |
فلنج (خارج) KF | DN40 |
سرعت پمپاژ (L/s) | ن2: 1400 |
ار:1360 | |
او: 880 | |
اچ2: 560 | |
نسبت تراکم | ن2: 108 |
آر: 108 | |
او: 104 | |
اچ2: 103 | |
فشار نهایی (Pa) | CF: 1×10-6 |
ISO-K/F: 6×10-6 | |
حداکثرفشار خلاء جلوی پیوسته (Pa) | 100 |
حداکثرفشار خلاء جلو | ن2:210 |
گاز سراسری (sccm) | ن2:2700 |
Ar:980 | |
او: 2000 | |
اچ2: 1800 | |
سرعت چرخش (دور در دقیقه) | 30000 |
زمان اجرا (دقیقه) | ≤8 |
نوع خنک کننده، استاندارد | اب |
مصرف آب خنک کننده (L/min) | 1 |
دمای آب خنک کننده (℃) | 20 |
اتصال برق: ولتاژ (V AC) | 220 |
مدل کنترلر | CXF-1400 |
وزن (کیلوگرم) | 50 (ISO-K/F) 52 (CF) |
تماس با شخص: sales
تلفن: +8613810212935