Resolution: | SE 1.5nm@15kV BSE 3nm@30kV | Magnification: | 1x-600000x |
---|---|---|---|
Accelerating Voltage: | 0.2kV-30kV | Max Specimen Diameter: | 175mm |
برجسته کردن: | ابزار دقیق میکروسکوپ الکترونی روبشی,دستگاه سم |
مزایای:
◆ اسلحه انتشار میدان شوتکی
system سیستم لنز با کارایی چند مرحله ای
patail ثبات پرتوی بالا
up اتاق نمونه فوق العاده قابل تنظیم
◆ عمل ساده
◆ قابلیت توسعه غنی و عملکرد بالا
مشخصات:
قسمت | EM8010 | |
وضوح |
se 1.5nm@15kv bse 3nm@30kv
|
|
بزرگنمایی |
1x-600000x
|
|
اسلحه الکترونیکی | اسلحه انتشار میدان شوتکی | |
ولتاژ تسریع |
0.2kV-30kV
|
|
سیستم خلاء
|
2 پمپ یونی ، 1 پمپ مولکولی توربو مغناطیسی ، 1 پمپ خشک
|
|
دیافراگم هدف | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم در خارج از سیستم خلاء | |
مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
سفر | X (خودکار) | 0 ~ 80 میلی متر |
دامنه | y (خودکار) | 50 ~ 50 میلی متر |
Z (دستی) | 30 ~ 30 میلی متر | |
R (دستی) | 360 درجه | |
t (دستی) | -5 درجه 70 درجه | |
قطر نمونه حداکثر | 175 میلی متر | |
ردیاب |
|
|
تغییر | به روزرسانی مرحله ؛ EBL ؛ STM ؛ AFM ؛ مرحله گرمایش ؛ مرحله Cryo ؛ مرحله کششی ؛ Micro-Nano Manipulator ؛ دستگاه پوشش SEM+؛ SEM+لیزر | |
لوازم |
EDS/EBSD/STEM/CL/مرحله گرمایش/مرحله سرمایش/مرحله کششی و غیره
|
|
تماس با شخص: Ms. Wang He
تلفن: 86-10- 82548271
فکس: 86-010-62564613