ابزارهای علمی نوآورانه
توسعه به شرکت های درجه یک
|
جزئیات محصول:
پرداخت:
|
| Resolution: | SE：3nm@30KV，8nm@3kV； BSE ：4nm@30KV | Magnification: | 1x-450000x |
|---|---|---|---|
| Specimen Stage: | Five axes stage | Electron Gun: | Pre-aligned tungsten filament |
| برجسته کردن: | میکروسکوپ الکترونی نیم,دستگاه سم |
||
به عنوان Kyky بیش از 60 سال تجربه ساخت SEM ، کل سری EM از سیستم قدیمی سیستم مرمت شده و سفارشی به عنوان SEM+پشتیبانی می کند ، مانند بازسازی لیتوگرافی پرتو الکترونی ، به روزرسانی LAB6 ، یکپارچه با STM ، مرحله گرمایش ، مرحله Cryo ؛ سیستم Micro-Nano و غیره نیز دارای چندین رابط در محفظه ای است که بیشتر آشکارسازی در بازار را به هم پیوسته است.
پیشرفت ها:
ماژول های خلاء کم اختیاری (LVSE ، LVBSE)
◆ توابع اتوماسیون غنی
◆ سفارشی سازی ستون/محفظه/سیستم الکتریکی
up اتاق بزرگ اختیاری
camera دوربین ناوبری میدانی گسترده
◆ پیوست های در حال گسترش غنی
مشخصات:
| قسمت | EM6910 Tungsten Filement SEM | |
| وضوح | SE: 3nm@30kv ، 8nm@3kv ； bse: 4nm@30kv | |
| بزرگنمایی | 1x-450000x | |
| اسلحه الکترونیکی | رشته تنگستن از قبل ALINGED | |
| ولتاژ تسریع |
0.2kV-30kV
|
|
|
سیستم خلاء
|
پمپ مولکولی توربو +پمپ مکانیکی
|
|
| دیافراگم هدف | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم در خارج از سیستم خلاء | |
| مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
| سفر | X (خودکار) | 0 ~ 80 میلی متر |
| دامنه | y (خودکار) | 50 ~ 50 میلی متر |
| Z (دستی) | 30 ~ 30 میلی متر | |
| R (دستی) | 360 درجه | |
| t (دستی) | -5 درجه 70 درجه | |
| قطر نمونه حداکثر | 175 میلی متر | |
| ردیاب |
ردیاب الکترون ثانویه
|
|
|
آشکارساز نیمه هادی BSE
|
||
|
CCD مادون قرمز
|
||
| با آب و هوای کم آب و هوای کم BSED ※
|
||
| تغییر | ارتقاء مرحله ؛ EBL ؛ STM ؛ AFM ؛ مرحله گرمایش ؛ مرحله کریو ؛ مرحله کششی ؛ Micro Nano Manipulator ؛ دستگاه پوشش SEM+؛ SEM+لیزر | |
| لوازم | LAB6 ، آشکارساز اشعه ایکس (EDS) ، EBSD ، CL ، WDS ، دستگاه پوشش | |
|
عملکرد خلاء کم
|
سطح خلاء 10-270PA SE: 4NM@30KV ، 50PA
|
|
تماس با شخص: Ms. Wang He
تلفن: 86-10- 82548271
فکس: 86-010-62564613
