جزئیات محصول:
پرداخت:
|
وضوح: | 3nm@30KV(SE) | بزرگنمایی: | بزرگنمایی منفی: 6X~300000X بزرگنمایی صفحه:12X~600000X |
---|---|---|---|
مرحله نمونه: | مرحله پنج محور | تفنگ الکترونی: | کارتریج فیلامنت تنگستن با کاتد گرم شده-پیش مرکزی |
برجسته: | میکروسکوپ الکترونی نیم,دستگاه سم |
SEM، EM6900 Std، رشته تنگستن، SE+BSE، وضوح 3nm@30KV(SE)
با بیش از 60 سال تجربه KYKY در تولید SEM، کل سری EM از سیستم قدیمی بازسازی شده و سفارشی شده به عنوان SEM+ پشتیبانی می کند، مانند بازسازی لیتوگرافی پرتو الکترونی، ارتقاء LaB6، ادغام شده با STM، AFM، مرحله گرمایش، مرحله کریو، مرحله کششی، میکرو سیستم دستکاری کننده نانو و غیره نیز دارای رابط چندگانه در محفظه برای اتصال بیشتر آشکارساز آنالیز موجود در بازار است
استاندارد EM6900 با حداکثر وضوحی که میتوانید از SEM رشته تنگستن دریافت کنید و همچنین دارای راحتترین دسته آشکارساز SE+BSE است، در مقایسه با EM6200 مرحله نمونه ارتقا یافته، هدف ارتقا یافته و همچنین بهینهسازی مسیرهای خلاء است که برای مشتریانی که مایل به انجام آن هستند دوستانه است. تجزیه و تحلیل گسترش بر اساس رشته تنگستن SEM.
سیستم عملیات چند زبانه، پانل کنترل یکپارچه، مشتری می تواند کل واحد را به سادگی با ماوس و صفحه کلید کنترل کند، برنامه خدمات پس از فروش جامع با پشتیبانی فنی مادام العمر.
مزایا:
◆ وضوح بالا
◆ آزمایشگاه قابل ارتقا6، مرحله نمونه عظیم و غیره
◆ طرح های اصلاح چندگانه
◆ مجموعه کامل نرم افزار خودکار
◆ هزینه نگهداری کم
مشخصات فنی:
مورد | SEM رشته تنگستن EM6900 Std | |
وضوح | 3nm@30KV(SE) 6nm@30KV(BSE) | |
بزرگنمایی | بزرگنمایی منفی: 6X~300000X بزرگنمایی صفحه:12X~600000X | |
تفنگ الکترونی | کارتریج فیلامنت تنگستن با کاتد گرم شده-پیش مرکزی | |
ولتاژ شتاب دهنده | 0 تا 30 کیلو ولت | |
سیستم لنز | لنز الکترومغناطیسی سه سطحی (عدسی مخروطی) | |
دیافراگم شیئی | دیافراگم مولیبدن قابل تنظیم سیستم خلاء بیرونی | |
مرحله نمونه | مرحله پنج محور | |
مسافرت رفتن | X (خودکار) | 0 ~ 80 میلی متر |
دامنه | Y (خودکار) | 0 ~ 60 میلی متر |
Z (دستی) | 0 تا 50 میلی متر | |
R (دستی) | 360 درجه | |
T (راهنما) | -5 تا 90 درجه | |
حداکثر قطر نمونه | 175 میلی متر | |
آشکارساز | آشکارساز الکترون ثانویه خلاء بالا | |
آشکارساز پراکندگی عقب نیمه هادی چهار بخش بندی | ||
IR CCD | ||
تغییر | ارتقاء مرحله؛ EBL;STM;AFM;مرحله گرمایش؛کریو استیج;مرحله کششی؛دستکاری میکرو نانو؛SEM + دستگاه پوشش؛ SEM + لیزر | |
تجهیزات جانبی | LaB6، آشکارساز اشعه ایکس (EDS)، EBSD، CL، WDS، دستگاه پوشش | |
سیستم خلاء | پمپ های مولکولی توربو؛ پمپ چرخشی |
تماس با شخص: sales
تلفن: +8613810212935